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• 블랭크 마스크, Blank Mask

  포토마스크에 전자 회로를 입히기 전 상태의 석영 유리판. 전자 회로 패턴이 형성되기 전의 마스크로 석영 유리 기판 위에 크롬(Cr)과 크롬 화합물의 금속박막 필름을 입힌 형태로 되어 있다. 일반적으로 위상 반전막이라는 투광막의 유무에 따라 BIM(Binary Mask)과 PSM(Phase Shifter mask)의 블랭크 마스크...